新品介绍-气体质量流量控制器

　　气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。气体质量流量计(Mass Flow Meter,缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量。

　　MFC在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入,以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他各种类型的分析仪器。